Reaktionsvorrichtung für Elektronenstrahl-Projektionsanlage

EP1160799 Art A1 5. Dezember 2001

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1160799
Aktenzeichen
EP00900161
Anmeldetag
11. Januar 2000
Veröffentlichung
5. Dezember 2001
Rechtsraum
EP
IPC
G21K5/00G21K5/04B01D53/32B01D53/60B01D53/00B01J19/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EBARA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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