Belichtungsgerät, Beschichtungs- und Entwicklungsgerät, Verfahren zum Fördern eines Substrats, Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung, Halbleiterproduktionsfabrik und Verfahren zur Erhaltung eines Belichtungsgeräts
EP1160839
Art A3
14. Juli 2004
Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1160839
- Aktenzeichen
- EP01304750
- Anmeldetag
- 30. Mai 2001
- Veröffentlichung
- 14. Juli 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CANON KABUSHIKI KAISHA
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
10.659 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Beresford, Keith Denis Lewis
London, Großbritannien
4.132
Patente gesamt
33
Fachgebiete
38
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
TBK
TBK · München
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TBK-Patent
TBK-Patent · München