Verfahren zur Herstellung von einem Halbleiterbauelement aus Siliziumkarbid

EP1160845 Art A3 27. November 2002

Anmelder: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1160845
Aktenzeichen: EP01112273
Anmeldetag: 18. Mai 2001
Veröffentlichung: 27. November 2002
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/265H01L21/329H01L21/336H01L21/331

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Panasonic

Japanischer Konzern, der Haushaltsgeräte, Unterhaltungselektronik, Batterien sowie Komponenten und Lösungen für Industrie und Automobilbau entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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