Verfahren zur elektrischen Vorspannung zur Verbesserung von Metallabcheidung

EP1160846 Art A3 3. Dezember 2003

Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1160846
Aktenzeichen
EP01303981
Anmeldetag
1. Mai 2001
Veröffentlichung
3. Dezember 2003
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/288C25D17/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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