Verringerung der Einflüsse von Vergrösserungs- und Retikelrotationsfehlern auf Überdeckungsfehler

EP1161707 Art A1 12. Dezember 2001

Anmelder: ADVANCED MICRO DEVICES, INC., ADVANCED MICRO DEVICES INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1161707
Aktenzeichen
EP00914578
Anmeldetag
11. Februar 2000
Veröffentlichung
12. Dezember 2001
Rechtsraum
EP
IPC
G03F9/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
ADVANCED MICRO DEVICES INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Micro Devices

US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.

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