Plasma-Verdampfungsquelle mit Kathoden-Elektrode für eine Vakuum-Beschichtungsanordnung

EP1162647 Art B1 28. Februar 2007

Anmelder: Satisloh AG, Satis Vacuum Industries Vertriebs - AG 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1162647
Aktenzeichen
EP01112774
Anmeldetag
28. Mai 2001
Veröffentlichung
28. Februar 2007
Erteilung
28. Februar 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Satisloh AG
Satis Vacuum Industries Vertriebs - AG
Land
🇨🇭 Schweiz

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Oppermann, Mark Offenbach, Deutschland
224
Patente gesamt
23
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Maschinenelemente & Fluidtechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Kunststoff- & Polymertechnik Steuerungs- & Regelungstechnik Haushalts-, Möbel- & Konsumgüter
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