Positionsdetektierungsverfahren, Positionssensor, Beleuchtungsvorrichtung und -Verfahren, Vorrichtung und Verfahren zu dessen Fabrikation
EP1164352
Art A9
3. Juli 2002
Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1164352
- Aktenzeichen
- EP00903969
- Anmeldetag
- 16. Februar 2000
- Veröffentlichung
- 3. Juli 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B21/00G01B11/00H01L21/027G03F9/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- NIKON CORPORATION
Nikon Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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WP Thompson
Bereits 1873 gegründet, eine der traditionsreichsten britischen Patent- und Markenkanzleien mit Büros in London, Liverpool und Cardiff. Begleitet von der Anmeldung bis zur Verwertung, einschließlich Litigation vor dem Einheitlichen Patentgericht.
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