Objektivfassung, insbesondere für Projektionsobjektiv in der Halbleiter-Lithographie
EP1164397
Art A1
19. Dezember 2001
Anmelder: Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung, trading as Carl Zeiss 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1164397
- Aktenzeichen
- EP01110401
- Anmeldetag
- 27. April 2001
- Veröffentlichung
- 19. Dezember 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B7/02G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung, trading as Carl Zeiss - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss
Carl Zeiss ist ein deutscher Hersteller von optischen und optoelektronischen Systemen mit Sitz in Oberkochen. Das Patentportfolio konzentriert sich klar auf Optik und Fototechnik sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Medizintechnik und Software für bildgebende Anwendungen. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.
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Vertreten von
Lorenz, Werner
Heidenheim, Deutschland
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