Vorrichtung zur Lagerung eines optischen Elementes, z.B. einer Linse in einem Objektiv

EP1164398 Art A3 13. August 2003

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung, trading as Carl Zeiss 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1164398
Aktenzeichen
EP01113149
Anmeldetag
30. Mai 2001
Veröffentlichung
13. August 2003
Rechtsraum
EP
IPC
G02B7/02G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung, trading as Carl Zeiss
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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