Betriebsweise eines lithographischen Projektionsapparates

EP1164436 Art A3 5. Januar 2005

Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASM LITHOGRAPHY B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1164436
Aktenzeichen
EP01305099
Anmeldetag
12. Juni 2001
Veröffentlichung
5. Januar 2005
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ASML Netherlands B.V.
ASM LITHOGRAPHY B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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