Entwicklungsverfahren und -vorrichtung

EP1164438 Art B1 21. Juli 2010

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1164438
Aktenzeichen: EP01113532
Anmeldetag: 12. Juni 2001
Veröffentlichung: 21. Juli 2010
Erteilung: 21. Juli 2010
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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