Verfahren zum Ätzen einer Elektrode in einer Halbleitervorrichtung
EP1164633
Art A2
19. Dezember 2001
Anmelder: NEC Electronics Corporation, NEC CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1164633
- Aktenzeichen
- EP01112920
- Anmeldetag
- 5. Juni 2001
- Veröffentlichung
- 19. Dezember 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3213H01L21/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- NEC Electronics Corporation
NEC CORPORATION - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
NEC
Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Tokio, der IT- und Netzwerklösungen, Telekommunikationsausrüstung sowie Sicherheits- und Biometrietechnik anbietet.
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Kanzlei
Splanemann Patentanwälte
München, Deutschland
1873 in Berlin gegründet und damit eine der ältesten Patentanwaltskanzleien Deutschlands, heute in München ansässig. Berät Großkonzerne, mittelständische Unternehmen und Körperschaften öffentlichen Rechts in Elektrotechnik, Informatik, Elektronik und Chemie.
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