Verfahren und Vorrichtung zum Stabilisieren der Bearbeitungstemperatur Während Chemisch-Mechanischem Polieren
EP1165288
Art B1
28. Mai 2003
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1165288
- Aktenzeichen
- EP00916568
- Anmeldetag
- 20. März 2000
- Veröffentlichung
- 28. Mai 2003
- Erteilung
- 28. Mai 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B37/04B24B21/04B24B49/14H01L21/306
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Vertreten von
Bucks, Teresa Anne
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