Verfahren zum Reaktiven Ionenätzen
EP1166341
Art A1
2. Januar 2002
Anmelder: THE UNIVERSITY COURT OF THE UNIVERSITY OF GLASGOW 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1166341
- Aktenzeichen
- EP00914290
- Anmeldetag
- 30. März 2000
- Veröffentlichung
- 2. Januar 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311G02B6/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- THE UNIVERSITY COURT OF THE UNIVERSITY OF GLASGOW
- Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧
The University Court of the University of Glasgow
The University Court of the University of Glasgow ist die Trägerkörperschaft der schottischen University of Glasgow. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Messtechnik, ergänzt durch Pharma/Biotechnologie und Halbleitertechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2025.
273 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Naismith, Robert Stewart
Glasgow, Großbritannien
916
Patente gesamt
32
Fachgebiete
21
Anmelder-Länder
Schwerpunkte