Verbesserungen Hinsichtlich Annealing

EP1166343 Art B1 19. Oktober 2005

Anmelder: QinetiQ Limited, Qinetiq Limited, THE SECRETARY OF STATE FOR DEFENCE 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1166343
Aktenzeichen
EP00907772
Anmeldetag
3. März 2000
Veröffentlichung
19. Oktober 2005
Erteilung
19. Oktober 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/316H01L21/3105
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
QinetiQ Limited
Qinetiq Limited
THE SECRETARY OF STATE FOR DEFENCE
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 QinetiQ

Britisches Unternehmen für Verteidigungs- und Sicherheitstechnologie mit Sitz in Farnborough, hervorgegangen aus Teilen der staatlichen Defence Evaluation and Research Agency.

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