Halbleiterherstellung mit Helium-Unterstützter Ätzung
EP1166346
Art A1
2. Januar 2002
Anmelder: Koninklijke Philips Electronics N.V., Philips Semiconductors Inc. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1166346
- Aktenzeichen
- EP00986720
- Anmeldetag
- 22. Dezember 2000
- Veröffentlichung
- 2. Januar 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3213
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Koninklijke Philips Electronics N.V.
Philips Semiconductors Inc. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
Philips
Niederländisches Technologieunternehmen mit Sitz in Amsterdam, spezialisiert auf Medizintechnik, Diagnosegeräte, Patientenüberwachung sowie Gesundheits- und Wellnessprodukte.
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Fachgebiete
Vertreten von
Duijvestijn, Adrianus Johannes
Eindhoven, Niederlande
513
Patente gesamt
17
Fachgebiete
9
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