Verfahren zum Abtragen von Dünnen Schichten auf einem Trägermaterial

EP1166358 Art B1 14. März 2012

Anmelder: Saint-Gobain Glass France S.A., Shell Erneuerbare Energien GmbH, Shell Solar GmbH, SIEMENS SOLAR GmbH 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1166358
Aktenzeichen
EP00925180
Anmeldetag
7. April 2000
Veröffentlichung
14. März 2012
Erteilung
14. März 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01L27/142H01L31/048B23K26/00B23K26/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Saint-Gobain Glass France S.A.
Shell Erneuerbare Energien GmbH
Shell Solar GmbH
SIEMENS SOLAR GmbH
Land
🇫🇷 Frankreich

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Vertreten von
Lendvai, Tomas Herzogenrath, Deutschland
193
Patente gesamt
21
Fachgebiete
4
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Anorganische Chemie & Werkstoffe Elektronik & Schaltungstechnik Hochbau & Gebäudetechnik Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff)
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