Verfahren und Apparat zur Herstellung von Verbindungsleitungen, Polierflüssigkeit und Polierverfahren

EP1167585 Art A3 30. Juli 2008

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1167585
Aktenzeichen
EP01115969
Anmeldetag
29. Juni 2001
Veröffentlichung
30. Juli 2008
Rechtsraum
EP
IPC
C25F3/02H01L21/768C25F7/00C09G1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EBARA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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