Verfahren zum Verbinden einer Vielzahl von optischen Elementen mit einem Grundkörper

EP1168006 Art B1 5. Juli 2006

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1168006
Aktenzeichen
EP01112204
Anmeldetag
18. Mai 2001
Veröffentlichung
5. Juli 2006
Erteilung
5. Juli 2006
Rechtsraum
EP
IPC
G02B5/09G02B7/182B29D11/00G02B7/18C25C1/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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