Optisches Projektionssystem, Verfahren zu dessen Herstellung und Projektionsbelichtungsapparat

EP1168028 Art A3 25. Februar 2004

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1168028
Aktenzeichen: EP01113659
Anmeldetag: 19. Juni 2001
Veröffentlichung: 25. Februar 2004
Rechtsraum: EP
IPC: G02B17/08G02B13/14G02B7/02G02B27/18G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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