Verfahren und Vorrichtung zur lokalen Flüssigkeitsbehandlung von einer Substratoberfläche
EP1168419
Art B1
1. Oktober 2008
Anmelder: IMEC, Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1168419
- Aktenzeichen
- EP00870135
- Anmeldetag
- 19. Juni 2000
- Veröffentlichung
- 1. Oktober 2008
- Erteilung
- 1. Oktober 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Vertreten von
Van Malderen, Joëlle
Liège, Belgien
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