Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen und Trocknen eines Substrats
EP1168422
Art B1
16. Dezember 2009
Anmelder: IMEC, INTERUNIVERSITAIRE MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1168422
- Aktenzeichen
- EP01870138
- Anmeldetag
- 26. Juni 2001
- Veröffentlichung
- 16. Dezember 2009
- Erteilung
- 16. Dezember 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00B08B7/04B05D3/04F26B3/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
INTERUNIVERSITAIRE MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Vertreten von
Van Malderen, Joëlle
Liège, Belgien
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