Photlithographieverfahren

EP1169670 Art B1 10. Mai 2006

Anmelder: Avago Technologies ECBU IP (Singapore) Pte. Ltd., Agilent Technologies, Inc. (a Delaware corporation), Agilent Technologies Inc. a Delaware Corporation 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1169670
Aktenzeichen
EP00908547
Anmeldetag
8. Februar 2000
Veröffentlichung
10. Mai 2006
Erteilung
10. Mai 2006
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20H01L21/00H01L33/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Avago Technologies ECBU IP (Singapore) Pte. Ltd.
Agilent Technologies, Inc. (a Delaware corporation)
Agilent Technologies Inc. a Delaware Corporation
Land
🇸🇬 Singapur
🇺🇸 Agilent Technologies

US-amerikanischer Hersteller von Analysegeräten, Labortechnik und Diagnostiklösungen, 1999 als Ausgründung von Hewlett Packard entstanden. Schwerpunkte sind Chromatographie, Massenspektrometrie und Life-Science-Instrumente.

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