Verfahren und Vorrichtung zur Trocknung eines Substrats
EP1170564
Art B1
7. Juli 2004
Anmelder: Toho Kasei Ltd., DAIKIN INDUSTRIES, LTD., Daikin Industries, Ltd., Toho Kasei Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1170564
- Aktenzeichen
- EP00900411
- Anmeldetag
- 17. Januar 2000
- Veröffentlichung
- 7. Juli 2004
- Erteilung
- 7. Juli 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F26B21/04H01L21/304H01L21/306H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Toho Kasei Ltd.
DAIKIN INDUSTRIES, LTD.
Daikin Industries, Ltd.
Toho Kasei Co., Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Daikin Industries
Japanischer Hersteller von Klima- und Kältetechnik mit Sitz in Osaka. Daikin entwickelt Klimaanlagen, Wärmepumpen, Kältemittel und Fluorchemikalien für Gebäude- und Industrieanwendungen.
3.412 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Prüfer, Lutz H
München, Deutschland
221
Patente gesamt
27
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Prüfer, Lutz H., Dipl.-Phys
NoneMünchen