Verfahren und Vorrichtung zur Trocknung eines Substrats

EP1170564 Art B1 7. Juli 2004

Anmelder: Toho Kasei Ltd., DAIKIN INDUSTRIES, LTD., Daikin Industries, Ltd., Toho Kasei Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1170564
Aktenzeichen
EP00900411
Anmeldetag
17. Januar 2000
Veröffentlichung
7. Juli 2004
Erteilung
7. Juli 2004
Rechtsraum
EP
IPC
F26B21/04H01L21/304H01L21/306H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Toho Kasei Ltd.
DAIKIN INDUSTRIES, LTD.
Daikin Industries, Ltd.
Toho Kasei Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Daikin Industries

Japanischer Hersteller von Klima- und Kältetechnik mit Sitz in Osaka. Daikin entwickelt Klimaanlagen, Wärmepumpen, Kältemittel und Fluorchemikalien für Gebäude- und Industrieanwendungen.

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