Verbundscheiben-Herstellungsmethode

EP1170801 Art B1 26. Juli 2006

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1170801
Aktenzeichen
EP00963000
Anmeldetag
29. September 2000
Veröffentlichung
26. Juli 2006
Erteilung
26. Juli 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01L27/12H01L21/762
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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