Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung Polymerisierten Teos-Aufbau in Vakuumpumplinien

EP1171644 Art B1 18. April 2007

Anmelder: MKS INSTRUMENTS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1171644
Aktenzeichen: EP00921335
Anmeldetag: 18. Februar 2000
Veröffentlichung: 18. April 2007
Erteilung: 18. April 2007
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/00C23C16/44C23C16/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS INSTRUMENTS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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