Methode und Gerät zur Kontrolle Elektrostatischer Entladung

EP1171798 Art B1 20. Oktober 2010

Anmelder: Toppan Photomasks, Inc., DuPont Photomasks, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1171798
Aktenzeichen
EP00920204
Anmeldetag
7. April 2000
Veröffentlichung
20. Oktober 2010
Erteilung
20. Oktober 2010
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/00G03F1/14H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Toppan Photomasks, Inc.
DuPont Photomasks, Inc.
Land
🇺🇸 USA

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