Verfahren zur Vertikalen Integration von Elektrischen Bauelementen mittels Rückseitenkontaktierung

EP1171912 Art B1 24. September 2003

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1171912
Aktenzeichen
EP00945532
Anmeldetag
16. Mai 2000
Veröffentlichung
24. September 2003
Erteilung
24. September 2003
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/768H01L23/48H01L25/065
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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