Verfahren und Vorrichtung zur Substratreinigung

EP1172844 Art A3 14. Dezember 2005

Anmelder: Sony Corporation, SONY CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1172844
Aktenzeichen: EP01116941
Anmeldetag: 11. Juli 2001
Veröffentlichung: 14. Dezember 2005
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Sony Corporation
SONY CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sony Group

Japanischer Technologie- und Unterhaltungskonzern mit Sitz in Tokio. Sony entwickelt Unterhaltungselektronik, Bildsensoren, Spielesysteme sowie Musik- und Filmangebote.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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