Hochdichtgesintertes, Poröses Siliziumkarbid und Sliziumkarbid-Metal-Komposit zur Verwendung in Tischen von Halbleiterscheiben-Poliermaschinen

EP1174400 Art A1 23. Januar 2002

Anmelder: IBIDEN CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1174400
Aktenzeichen
EP00977905
Anmeldetag
24. November 2000
Veröffentlichung
23. Januar 2002
Rechtsraum
EP
IPC
C04B38/00C04B41/88C04B35/565H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IBIDEN CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ibiden

Ibiden ist ein japanischer Hersteller elektronischer Materialien mit Sitz in Ogaki, spezialisiert auf IC-Substrate für Halbleiter sowie Keramikprodukte für die Automobil- und Elektronikindustrie.

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Kanzlei
Kraus & Weisert München, Deutschland

Schon mit Eröffnung des Europäischen Patentamts 1977 gehörte Kraus & Weisert zu den ersten Kanzleien, die US-amerikanische und japanische Mandanten dort vertraten. Nach Fusion mit der 1934 gegründeten Lederer & Keller firmiert sie als Kraus & Lederer, mit China Desk in München.

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