Gehäuse für ein Interferometer

EP1174679 Art A3 12. März 2003

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1174679
Aktenzeichen
EP01116719
Anmeldetag
18. Juli 2001
Veröffentlichung
12. März 2003
Rechtsraum
EP
IPC
G01B9/02G01B11/27G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
NIKON CORPORATION
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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