Koaxialer Elektromagnet in einem Magnetron-Sputter-Reaktor
EP1174902
Art A2
23. Januar 2002
Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1174902
- Aktenzeichen
- EP01115715
- Anmeldetag
- 6. Juli 2001
- Veröffentlichung
- 23. Januar 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Käck, Jürgen
Landsberg am Lech, Deutschland
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