Halbleiterscheiben-Erzeugungsapparat und Herstellungsmethode

EP1174912 Art A1 23. Januar 2002

Anmelder: EBARA CORPORATION, Kabushiki Kaisha Toshiba, KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1174912
Aktenzeichen
EP00985855
Anmeldetag
25. Dezember 2000
Veröffentlichung
23. Januar 2002
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/288
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
EBARA CORPORATION
Kabushiki Kaisha Toshiba
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Toshiba

Japanischer Konzern, der Elektronik, Halbleiter, Energie- und Infrastrukturtechnik sowie Industrieanlagen entwickelt und herstellt.

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