Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung von Retikeln mit Paralleler Verarbeitung
EP1175660
Art B1
3. Januar 2007
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1175660
- Aktenzeichen
- EP00928494
- Anmeldetag
- 28. April 2000
- Veröffentlichung
- 3. Januar 2007
- Erteilung
- 3. Januar 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G06T7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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Vertreten von
Browne, Robin Forsythe
Leeds, Großbritannien
1.734
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