Verfahren zur Abscheidung einer Siliziumkarbidschicht zur Herstellung integrierter Schaltkreise
EP1176226
Art B1
6. Mai 2009
Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1176226
- Aktenzeichen
- EP01116054
- Anmeldetag
- 2. Juli 2001
- Veröffentlichung
- 6. Mai 2009
- Erteilung
- 6. Mai 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/32H01L21/768
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
10.783 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kirschner, Klaus Dieter
München, Deutschland
863
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32
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23
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