Verfahren und Vorrichtung zur Mikrowellenanregung eines Plasmas in einer Ionenstrahlführungsvorrichtung
EP1176624
Art B1
17. Oktober 2007
Anmelder: Axcelis Technologies, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1176624
- Aktenzeichen
- EP01306059
- Anmeldetag
- 13. Juli 2001
- Veröffentlichung
- 17. Oktober 2007
- Erteilung
- 17. Oktober 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/317H01J37/05H01J37/32H01J37/02H01P3/16
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Axcelis Technologies, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Axcelis Technologies
Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.
377 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Burke, Steven David
London, Großbritannien
453
Patente gesamt
25
Fachgebiete
10
Anmelder-Länder
Schwerpunkte