Zerstäubungsvorrichtung
EP1176625
Art B1
1. Oktober 2008
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1176625
- Aktenzeichen
- EP01118054
- Anmeldetag
- 25. Juli 2001
- Veröffentlichung
- 1. Oktober 2008
- Erteilung
- 1. Oktober 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Fachgebiete
Vertreten von
Körber, Wolfhart
München, Deutschland
123
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23
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8
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