Polierkörper, Poliermaschine, Poliermaschinenjustierverfahren, Dicken- oder Endpunkt-Messverfahren für die Polierte Schicht, Herstellungsverfahren eines Halbleiterbauelementes
EP1176630
Art B1
27. Juni 2007
Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1176630
- Aktenzeichen
- EP00908067
- Anmeldetag
- 14. März 2000
- Veröffentlichung
- 27. Juni 2007
- Erteilung
- 27. Juni 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/304B24B37/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- NIKON CORPORATION
Nikon Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
3.320 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Viering, Hans-Martin
München, Deutschland
404
Patente gesamt
34
Fachgebiete
25
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Schwerpunkte