Verfahren zur chemischen Behandlung von Halbleiterscheiben

EP1176632 Art B1 13. April 2005

Anmelder: Siltronic AG, Wacker Siltronic AG, Wacker Siltronic Gesellschaft für Halbleitermaterialien Aktiengesellschaft 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1176632
Aktenzeichen
EP01114834
Anmeldetag
28. Juni 2001
Veröffentlichung
13. April 2005
Erteilung
13. April 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/306B08B3/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Siltronic AG
Wacker Siltronic AG
Wacker Siltronic Gesellschaft für Halbleitermaterialien Aktiengesellschaft
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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