Verfahren zum anisotropen Trockenätzen von organischer Antireflexionsschichten

EP1176634 Art A3 4. Januar 2006

Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1176634
Aktenzeichen: EP01115152
Anmeldetag: 22. Juni 2001
Veröffentlichung: 4. Januar 2006
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3105H01L21/027G03F7/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Infineon Technologies AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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