Remote-Plasmagenerator
EP1177112
Art B1
1. Juni 2011
Anmelder: Axcelis Technologies Inc., Fusion Systems Corporation, Matrix Integrated Systems, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1177112
- Aktenzeichen
- EP00920239
- Anmeldetag
- 12. April 2000
- Veröffentlichung
- 1. Juni 2011
- Erteilung
- 1. Juni 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32H05H1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Axcelis Technologies Inc.
Fusion Systems Corporation
Matrix Integrated Systems, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Axcelis Technologies
Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.
377 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Heuckeroth, Volker
Stuttgart, Deutschland
172
Patente gesamt
22
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte