Herstellungsverfahren einer Integrierten Schaltung unter Verwendung von Antireflexionsschichten

EP1177574 Art B1 15. September 2010

Anmelder: Micron Technology, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1177574
Aktenzeichen
EP00928389
Anmeldetag
25. April 2000
Veröffentlichung
15. September 2010
Erteilung
15. September 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/027G03F7/09
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Micron Technology, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Micron Technology

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Boise, Idaho. Micron entwickelt und fertigt Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash sowie Speicherlösungen für Computer, Mobilgeräte, Rechenzentren und Automobile.

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