Substrathalter und Poliervorrichtung

EP1177859 Art B1 15. April 2009

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1177859
Aktenzeichen
EP01117745
Anmeldetag
30. Juli 2001
Veröffentlichung
15. April 2009
Erteilung
15. April 2009
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04B24B41/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EBARA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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