Ätzlösung aus gemischten Saüren, Verfahren zur Vorbereitung derselben, Ätzverfahren unter Verwendung derselben und Verfahren zur Herstellung einer Halbleiter-Anordnung

EP1178526 Art A3 3. März 2004

Anmelder: Mitsubishi Chemical Corporation, Nippon Kasei Chemical Company Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1178526
Aktenzeichen: EP01117723
Anmeldetag: 27. Juli 2001
Veröffentlichung: 3. März 2004
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/306C23F1/24C23F1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Mitsubishi Chemical Corporation
Nippon Kasei Chemical Company Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Das Unternehmen entwickelt Grund- und Spezialchemikalien, Kunststoffe, Materialien für Elektronik und Energiespeicher sowie Pharma- und Life-Science-Produkte.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von