Verfahren zur Beseitigung von Siliziumkarbid von einer Substratoberfläche nach oxidierung
EP1178527
Art A3
27. September 2006
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1178527
- Aktenzeichen
- EP01118611
- Anmeldetag
- 2. August 2001
- Veröffentlichung
- 27. September 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311H01L21/316C04B41/50
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
Kirschner, Klaus Dieter
München, Deutschland
863
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