Polierkissen mit Rillenmuster zur Verwendung in einer Chemisch-Mechanischen Poliervorrichtung
EP1178872
Art B1
8. Oktober 2003
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1178872
- Aktenzeichen
- EP00930746
- Anmeldetag
- 15. Mai 2000
- Veröffentlichung
- 8. Oktober 2003
- Erteilung
- 8. Oktober 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B37/04B24B21/04B24D11/04B24D11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Bucks, Teresa Anne
London, Großbritannien
415
Patente gesamt
34
Fachgebiete
23
Anmelder-Länder
Schwerpunkte