Verfahren und System zur Sekundärelektronen-Spektroskopie

EP1179217 Art A1 13. Februar 2002

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1179217
Aktenzeichen
EP00932327
Anmeldetag
12. Mai 2000
Veröffentlichung
13. Februar 2002
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/26G01N23/22H01J37/252H01J37/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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