Verfahren zur Echtzeitkontrolle der Herstellung einer Dünnschichtstruktur durch ellipsometrische Messung
EP1179729
Art A1
13. Februar 2002
Anmelder: L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, L'air Liquide, S.A. à Directoire et Conseil de Surveillance pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1179729
- Aktenzeichen
- EP01402132
- Anmeldetag
- 7. August 2001
- Veröffentlichung
- 13. Februar 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/21G01B11/06
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
L'air Liquide, S.A. à Directoire et Conseil de Surveillance pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Air Liquide
Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.
2.774 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Domenego, Bertrand
Paris, Frankreich
1.322
Patente gesamt
34
Fachgebiete
20
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Mellul-Bendelac, Sylvie Lisette
L'Air Liquide · Paris