Kombination von abtastenden und abbildenden Methoden bei der Überprüfung von Photomasken
EP1179748
Art B1
15. Dezember 2004
Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1179748
- Aktenzeichen
- EP01118529
- Anmeldetag
- 1. August 2001
- Veröffentlichung
- 15. Dezember 2004
- Erteilung
- 15. Dezember 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/00G12B21/08G01N21/956
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Infineon Technologies AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Infineon Technologies
Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.
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Vertreten von
Graf Lambsdorff, Matthias
München, Deutschland
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