Teilchendetektor

EP1179833 Art B1 3. Oktober 2007

Anmelder: Carl Zeiss SMT Limited, Leo Electron Microscopy Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1179833
Aktenzeichen
EP01306778
Anmeldetag
8. August 2001
Veröffentlichung
3. Oktober 2007
Erteilung
3. Oktober 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/244
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Carl Zeiss SMT Limited
Leo Electron Microscopy Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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